цагны жижиг PVD бүрэх машин
Өргөдөл
Бид үнэт эдлэл, цагны бүрхүүл гэх мэт жижиг эд зүйлсийн гоёл чимэглэлийн зориулалттай жижиг PVD бүрэх машин үйлдвэрлэдэг. Өнгө нь сарнай алтан, алтлаг, хар, цэнхэр гэх мэт байж болно.
Өргөдөл
• Ерөнхий бүтэц: Босоо урд хаалга, хэвтээ урд хаалга, хойд вакуум шахах систем
• Материал: Хөндий нь сайн чанарын SUS304 зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн
• Ионы нумын эх үүсвэр: Тоног төхөөрөмжийн хэмжээнээс хамааран нуман тэжээлийн олон багцаар тоноглогдсон
• Хэвийн тэжээлийн хангамж: Өндөр хүчин чадалтай нэг шатлалт импульсийн хэвийсэн тэжээлийн хангамжаар тоноглогдсон
• Олон нуман зорилтууд: Титан эсвэл зэвэрдэггүй гангийн олон багц стандарт
• Эргэлтийн систем: Хувьсах давтамжийн хурдны зохицуулалт, эргэлт ба эргэлтийн хослол, дээд дамжуулалт эсвэл доод дамжуулалт.
• Вакуум систем (Гоёл чимэглэлийн бүрэх төхөөрөмж): Диффузын насос (заавал молекулын насос) + Roots насос + механик насос
• Хийн хяналт: Олон талт хийн массын урсгалын хяналтын систем
• Халаалтын систем: гоёл чимэглэлийн бүрээс 150 ℃ температурын хяналтын PID тохируулж, удирдах боломжтой
• Ухаалаг удирдлага: Бүрэн автомат логик удирдлагад хүрэхийн тулд PLC ухаалаг удирдлага + HMI бүрэн өнгөт мэдрэгчтэй интерфейс
• Сэрүүлэг ба хамгаалалт: Хэвийн бус нөхцөлд дохиолол өгч, холбогдох хамгаалалтын арга хэмжээг хэрэгжүүлнэ.
Өргөдөл
PVD машины найрлага:
- Vакумтанхим:
- Халаалтыг дулаалах зориулалттай хоёр давхар вакуум камер нь нуман хуримтлуулах процессоор бүтээгддэг.10 гаруй жил вакуум тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэсэн тул гоожихгүйгээр сайн гагнасан вакуум камер.
- Катодууд:
- Зэс гол нуман катодууд нь нуман хуримтлуулах процессыг илүү сайн дамжуулдаг.Дусал дуслын асуудал нь нуман хуримтлалд зориулагдсан тусгай загвар, эрчим хүчний эх үүсвэрийн тусламжтайгаар багасдаг.
- Карусель:
- Илүү сайн тунадасжуулахын тулд таны субстратын дагуу хийгдсэн тойруулга.
- Ус шахах систем
- Тогтвортой шахах чадвартай өндөр вакуум насосууд нь өндөр вакуумыг үр ашигтайгаар авдаг.Молекулын насос болон диффузийн насосыг хоёуланг нь сонгох боломжтой.
- Эрчим хүчний эх үүсвэрүүд
- Бид өндөр чанартай PVD бүрээсийг авахын тулд эрчим хүч, гүйдэл, хүчдэлийн нарийвчлалыг баталгаажуулдаг найдвартай үйлдвэрлэгчдээс эрчим хүчний эх үүсвэрийг сонгодог.
- PLC хяналтын систем:
- Ашиглахад хялбар цэстэй бүрэн мэдрэгчтэй самбар, англи хувилбартай.
- Нийтлэг жорыг системд бичиж, хурдан сонголт хийх боломжтой.
- Хийн түгээлтийн систем
- PVD бүрэх үед боловсруулах хийг хянах өндөр нарийвчлалтай хийн урсгалын хянагч.
