Магетрон цацах машин
-
Вакуум нимгэн хальс магнетрон цацах бүрэх машин
Вакуум магнетрон цацах арга нь катодын гадаргуугийн шилжилт дэх электроны соронзон орон бүхий эмэгтэй, хоёр туйлт электродын гадаргууг ашиглах, зорилтот гадаргуугийн цахилгаан талбайг соронзон оронтой перпендикуляр тохируулах замаар электроны цохилтыг нэмэгдүүлж, иончлолын хурдыг нэмэгдүүлдэг. хийн, харин өндөр энергитэй тоосонцор нь мөргөлдөөний дараа хий болж, энерги алдаж, улмаар субстратын температурыг бууруулж, температурт тэсвэртэй бус материал дээр бүрэн бүрэх болно.
-
Вакуум хуримтлуулах магнетрон цацах систем
Вакуум хуримтлуулах магнетрон шүрших систем нь янз бүрийн түүхий эдэд металл болон функциональ бүрээстэй нимгэн хальсан бүрээсийг түрхэхэд ашиглаж болох нэг төрлийн вакуум төхөөрөмж юм.
-
Нэг удаагийн хуванцар хутганы Магнетрон шүршигч бүрэх машин
Magnetron sputtering нь одоогоор өргөн хэрэглэгддэг нимгэн хальсан тунадасжуулах технологи юм.Цацах технологийг тасралтгүй хөгжүүлж, шинэ функциональ хальсыг хайж олсноор магнетрон цацалтыг үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны олон салбарт өргөжүүлэв.Микроэлектроникийн салбарт дулааны бус бүрэх технологийн хувьд энэ нь ихэвчлэн химийн уурын хуримтлал (CVD) эсвэл металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) зэрэгт ургахад хэцүү, тохиромжгүй материалаас нимгэн хальсыг хуримтлуулахад ашиглагддаг. том талбайд маш жигд нимгэн хальс.
