Керамик аяга тавагны PVD бүрэх машин
Өргөдөл
| Загварын дугаар | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
| Вакуум камерын хэмжээ (диаметр * өндөр) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 |
| Вакуум камерын материал | Хөргөх хүрэмтэй SUS304 эсвэл SUS316L | ||||
| Нуман эх үүсвэрийн тоо хэмжээ | 8-12 багц | 10-14 багц | 12-16 багц | 14-24 багц | 18-36 багц |
| Ус шахах систем | молекулын насос эсвэл диффузын насос+механик насос | молекулын насос эсвэл диффузын насос+механик насос, өргөлтийн насос | |||
| Ус шахах хугацаа | Агаар мандлаас 5.0*10-2Па хүртэл 8 минутаас бага | ||||
| Хэвийн цахилгаан хангамж | 20кВт | 30 кВт | 40 кВт | 60 кВт | 60 кВт |
| Масс урсгалын хянагчтай хийн түгээлтийн систем | ≥2 багц | ||||
| Вакуум хязгаар | 5.0*10-4 Па | ||||
| Ажлын температур | 100-250 градус | ||||
| Ажлын горим | Автомат эсвэл гарын авлагын горим, 10.4 инчийн PLC дэлгэцэнд хүрнэ | ||||
| Нийт хүч | 70-180 кВт | 70-180 кВт | 70-180 кВт | 120-300 кВт | 120-300 кВт |
| Хөлийн мөр | 3*3 метр | 3*3 метр | 3*4 метр | 4*5 метр | 4*5 метр |
• Ерөнхий бүтэц: Босоо урд хаалга, хэвтээ урд хаалга, арын вакуум авах систем
• Материал: Хөндий нь сайн чанарын SUS304 зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн
• Ионы нумын эх үүсвэр: Тоног төхөөрөмжийн хэмжээнээс хамааран нуман цахилгаан хангамжийн олон багц системээр тоноглогдсон
• Хэвийн тэжээлийн хангамж: Өндөр хүчин чадалтай нэг шатлалт импульсийн хэвийсэн тэжээлийн хангамжаар тоноглогдсон
• Олон нуман зорилтууд: Титан эсвэл зэвэрдэггүй гангийн олон багц стандарт
• Эргэлтийн систем: Хувьсах давтамжийн хурдны зохицуулалт, эргэлт ба эргэлтийн хослол, дээд дамжуулалт эсвэл доод дамжуулалт.
• Вакуум систем (Гоёл чимэглэлийн бүрэх төхөөрөмж): Диффузын насос (заавал молекулын насос) + Roots насос + механик насос
• Хийн хяналт: Олон талт хийн массын урсгалын хяналтын систем
• Халаалтын систем: гоёл чимэглэлийн бүрээс 150 ℃ температурын хяналтын PID тохируулж, удирдах боломжтой
• Ухаалаг удирдлага: Бүрэн автомат логик удирдлагад хүрэхийн тулд PLC ухаалаг удирдлага + HMI бүрэн өнгөт мэдрэгчтэй интерфейс
• Сэрүүлэг ба хамгаалалт: Хэвийн бус нөхцөлд дохиолол өгч, холбогдох хамгаалалтын арга хэмжээг хэрэгжүүлнэ.
Нийтлэг програмууд
1. Шилэн бугуйвч
2. Керамик хавтан ба мозайк
3. Шилэн мозайк
4. Үнэт эдлэл
5. Шилэн гэрэлтүүлгийн эд анги
6. Металл эд анги
7. Керамик эдлэл
8. Шүдний эд зүйлс
9. Зэвэрдэггүй ган хуудсыг титан алтан хуудас болгон,
10. Буудлагын эд анги гэх мэт
