Хатуу бүрэх зориулалттай гибрид PVD машин
Үндсэн бүрээс
| Бүрэх | Хатуулаг hv | Үрэлтийн коэффициент | Зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал | Элэгдлийн эсэргүүцэл | Үйлчилгээний дээд температур C | Өнгө |
| TiN (титан нитрид) | 2200 | 0.5 | Сайн байна | Маш сайн | 525 | алт |
| TiN –LT (бага температурт титан нитрид) | 2200 | 0.5 | Сайн байна | Маш сайн | 525 | алт |
| TiCN (титан карбонитрид) | 3000 | 0.4 | Шударга | Маш сайн | 400 | Нил ягаан |
| AlTiN (Хөнгөн цагаан титан нитрид) | 3600 | 0.6 | Сайн байна | Маш сайн | 750 | Хар |
| CrN (Хромын нитрид) | 2400 | 0.5 | Маш сайн | Сайн байна | 700 | Мөнгө/Саарал |
| ZrN (Цирконийн нитрид) | 2500 | 0.5 | Сайн байна | Маш сайн | 600 | Хөнгөн алт |
Үндсэн онцлог
1. PVD бүрэх камер нь зэвэрдэггүй материалаар хийгдсэн урд хаалганы хайрцаг хэлбэрийн бүтэц юм.
2. Бүрэх камер ба ажлын хэсгүүдийн тэнхлэгийн хэмжээ нь бүрэх хэрэгцээний ерөнхий шаардлагыг хангаж байна.
3. Нуман эх үүсвэр нь дэвшилтэт бөгөөд найдвартай
4. Цилиндр эсвэл хавтгай магнетрон цацагч байдаг
5. PLC-ийг автоматаар эсвэл гараар удирдах боломжтой
Өргөдөл
PVD бүрэх машиныг ажиллуулахын тулд танд дараахь зүйлс хэрэгтэй болно.
Хөргөх ус: Температурын хэлбэлзэл 15-28 Цельсийн, хөргөлтийн хэмжээ: 5p-15p
Компрессор: Савны эзэлхүүн: 0.5-2/куб
Цахилгаан: PVD машины эзэлхүүний дагуу 80 ~ 150ква-аас багагүй.
Металл эд ангиудыг урьдчилан боловсруулахад:
1. Хэт авианы угаалгын машин
2. Цэвэр усны машин эсвэл/хэрэв ус нь цэвэр бол 1-2 тонн/цаг
3. Субстратын гадаргуу (бүтээгдэхүүн) нь цэвэр, хуурай байх ёстой
4. Оператор: Дээр дурдсанчлан хүчин чадал: 1 - 2 оператор
Процессын хувьд:
1. Түүхий эд: зорилтот материал
2. Хий: A2, N2, O2, C2H2 гэх мэт
3. Бүх хийн саванд даралт бууруулах хавхлага, хийн хоолой, холбогч хэрэгтэй
4. Шахуургын тос болон бусад эд анги, сэлбэг хэрэгслийн жагсаалт
