Inline Sputtering System
-
Inline Magnetron Sputtering систем
Inline Magnetron Sputtering систем нь янз бүрийн зориулалтаар ажилладаг вакуум нимгэн хальсыг буулгах төхөөрөмж юм.Манай шүрших шугамын хамгийн түгээмэл хэрэглээ нь:
Хөнгөн цагаан толь үйлдвэрлэл
- ITO шилэн бүрээс
- Гэрэл цацруулагчийн эсрэг шил
- Зэвэрдэггүй ган, шилний гоёл чимэглэлийн бүрээс
Энэхүү бүрэх систем нь дээд зэрэглэлийн вакуум бүрэх хэрэглээнд тохиромжтой.Энэ нь вакуум бүрэх хальсны чанарыг сайжруулахын тулд тогтвортой ажлын гүйцэтгэлийг бий болгодог.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Шилэн Магнетрон цацах бүрэх шугам нь вакуум магнетрон цацах технологи болон тэнцвэргүй магнетрон цацах технологийг нэвтрүүлж, өндөр чанарын хөвөгч шилийг SO2/ITO давхаргаар бүрхэнэ.Олон улсын дэвшилтэт хяналтын системд суурилсан.Үйлдвэрлэлийн бүх процесс автоматаар, тасралтгүй ажилладаг.
-
Хөнгөн цагаан толин тусгал Inline Magnetron цацах шугам
Хөнгөн цагаан толин тусгал доторлогоотой соронз шүрших шугам нь шилэн толин тусгал үйлдвэрлэх зориулалттай өндөр гаралтанд зориулагдсан.Том шилийг бүрэх, хэврэг шилэн хавтанг арчлахын тулд, ялангуяа том хэмжээтэй хуудасны хувьд бид ихэвчлэн хэвтээ төрлийн шүрших шугам хийдэг.Энэ нь тасралтгүй магнетрон бүрэх шугам, урд болон хойд барзгар шахах камер, шилжилтийн камерын дараа, нарийн шахах камерын өмнө болон дараа, буфер камер, өнгөт бүрэх өрөөтэй.
Зорилтот зорилго: цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацруулагч катодууд ба/болон хавтгай катодууд.
Эрчим хүчний эх үүсвэр: өндөр чадлын тогтмол гүйдлийн эсвэл MF магнетрон цацалттай тэжээлийн хангамж
Хөтчийн систем: галзуу хөтөч, давтамж тохируулгатай, индукцийн төрлийн өрөөний хаалга онгойлгох систем.
Вакуум систем: диффузын насос (эсвэл турбо молекул насос) + үндэс насос + механик насос
