Inline Magnetron Sputtering system Онцлох зураг

Inline Magnetron Sputtering систем

Товч тодорхойлолт:

Inline Magnetron Sputtering систем нь янз бүрийн зориулалтаар ажилладаг вакуум нимгэн хальсыг буулгах төхөөрөмж юм.Манай шүрших шугамын хамгийн түгээмэл хэрэглээ нь:

Хөнгөн цагаан толь үйлдвэрлэл

ITO шилэн бүрээс
Гэрэл цацруулагчийн эсрэг шил
Зэвэрдэггүй ган, шилний гоёл чимэглэлийн бүрээс

Энэхүү бүрэх систем нь дээд зэрэглэлийн вакуум бүрэх хэрэглээнд тохиромжтой.Энэ нь вакуум бүрэх хальсны чанарыг сайжруулахын тулд тогтвортой ажлын гүйцэтгэлийг бий болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Дотор магнетрон шүршигч бүрэх машин нь голчлон тогтмол гүйдлийн (эсвэл MF) магнетрон цацах бүрээсийг зэс, титан, хром, зэвэрдэггүй ган, никель болон бусад металл материал зэрэг өргөн хүрээний зорилтод тохируулж, шүрших процесс ашиглан бүрэх боломжтой. киноны наалдамхай чанар, давтагдах чадвар, нягтрал, жигд байдал болон бусад шинж чанарыг сайжруулах боломжтой.

а.Үндсэн шинж чанар ба параметрүүд
б.хэвтээ шугамын бүтцийг нэг талдаа бүрсэн нэгэн зэрэг хийж болно
в.үйлдвэрлэлийн үр ашиг, хамгийн хурдан хурд нь 1 мин / цохилт хүртэл
г.модульчлагдсан дизайн, хялбар засвар үйлчилгээ
д.бүрэх процессын төлөвшил, өндөр гарц
е.Тогтмол гүйдлийн магнетрон шүрших катодууд нь хэрэглэгчийн шаардлагаас хамаарч өөр өөр байж болно
g.вакуум систем нь механик насос, үндэс насос, диффузийн насос (молекулын насос) -аас бүрдэнэ.
h.Шугамын биеийн хэмжээ нь хэрэглэгчийн шаардлагаас хамаарч өөр өөр байж болно

1) Вакуум камерын биеийн материалыг SUS304, вакуум камерын ханыг өнгөлөх, гадна хананд шүрших өнгөлгөөний бөмбөлгүүдийг боловсруулах.
2) Вакуум камерын хоорондох бие даасан хаалганы хавхлагыг ашиглах - хийсэх хавхлагыг салгаж, үр дүнтэй таслах, процессын хийн тогтворжуулах боломжтой.Одоогийн байдлаар манай компани хийсэх хавхлагын загварыг ашиглаж байгаа бөгөөд энэ нь одоогийн дотоодын ердийн хийсэх хавхлагаас илүү сайн, илүү бат бөх битүүмжлэлийг бий болгодог.
3) Дамжуулалт нь соронзон хөтөчийг ашигладаг бөгөөд хөтчийн тогтвортой байдлыг хамгаалдаг.VVVF мотор хөтөч ашиглан үйлдвэрлэлийн бүх шугамын хурд бүрийн хувьд ажиллах хурдыг тохируулж болно.
4) Цахилгаан хяналтын систем: Мэдрэгчтэй дэлгэц ба PLC автомат удирдлага, өгөгдөл харуулах систем, үйл ажиллагааны параметрүүд болон хяналтын технологид хүрэх хүн-машины харилцан яриа.
1) Хамгийн дээд вакуум даралт: 6 × 1 0E-4 Па
2) үйлдвэрлэлийн дундаж мөчлөг: тодорхойлсон бүтээгдэхүүний дагуу
3) Субстрат эзэмшигчийн хэмжээ: шаардлагын дагуу өөрчилж болно
4) Киноны жигд байдал: ± 3% дэвшилтэт хөдөлгөөнт талбайн технологи нь зорилтот ашиглалтыг ихээхэн сайжруулсан
Хэсэгчилсэн халаагчийн загвар нь процессыг оновчтой болгоход тустай.