Хөнгөн цагаан толин тусгал Inline Magnetron цацах шугам
Үндсэн онцлог
- Хөнгөн цагаан толин тусгал доторлогоотой магнетрон цацах шугам нь ихэвчлэн шилэн хуудсан дээрх вакуум бүрээсийг дуусгахын тулд олон вакуум камертай ирдэг.
- Үндсэн онцлог:
- 1.Max.glass бүрэх хэмжээ:2440x3660mm буюу захиалгаар
- 2. Олон вакуум камер, олон шүршигч камерын дизайн боломжтой
- 3. Хэвтээ соронзон хяналтын шугам нь нэг төгсгөлтэй, хоёр төгсгөлтэй бүтэцтэй;шилэн давхар цэвэрлэх, бүрэх, илрүүлэх, будах, хатаах, хөргөх зэрэг ажлыг нэг дор хийх боломжтой
- 4. Шүршигч бүрэх шугам нь процессыг бүхэлд нь хянахад PLC ашигладаг бөгөөд бүрэх процессын өгөгдлийг харуулах өнгөт дэлгэцээр тоноглогдсон.
Бүрээсийн давхарга: титан, хром, зэвэрдэггүй ган, хөнгөн цагаан, мөнгө, зэс гэх мэт.
- Нийлмэл: TiN, TiO2 гэх мэт.
- Давхаргын зузаан: 5-100нм
- Дамжуулах: 380-780 нм долгионы уртад 8-40%
- Туналтын температур: өрөөний температур
- 8 цагийн шахуургын дараа хамгийн дээд даралт:
- Оролтын түгжээ ба вакуум цоожны камер: 5×10-1 Па ба түүнээс доош
- Буферийн камер 1: 3×10-3 Па буюу түүнээс доош
- Шүрших камер: 2×10-3 Па ба түүнээс доош
- Буфер камер 2: 3×10-3 Па буюу түүнээс доош
- Гарах түгжээ ба вакуум цоожны камер: 5×10-1 Па буюу түүнээс доош
Энд мессежээ бичээд бидэнд илгээгээрэй
